最近5nm刻蚀机被炒的很火,网上漫山遍野的音讯都在说,我国芯片现已完结弯道超车,我国芯片将自给自足,不需要过多的忧虑被卡脖子的问题了。其实这种观念是极端不专业的,朴实便是批红判白、混淆视听。
乍一看光刻机蚀刻机十分挨近,可是光刻机蚀刻机却不能相提并论,由于蚀刻仅仅制作芯片其中之一的环节算了。而刻蚀机也仅仅许多芯片制作设备其中之一。下面我给咱们聊一下蚀刻机。
蚀刻机和光刻机实际上的意思便是彻底不同的两种设备,不管从功用仍是结构上来说都是天差地别,光刻机是整个芯片制作的完好过程中最为中心的设备,芯片的制程是由光刻机决议的,而不是蚀刻机。
如果把制作芯片比方成盖房子,那么光刻机的效果便是把房子的结构标示在地上。刻蚀机便是在光刻完结今后才上台的设备,也是光刻完结今后最重要的设备之一。刻蚀机最首要的效果便是依照光刻机现已标示好的线去做根本的建造,把不需要的当地给清除去,只留下光刻过程中标示好的线路。
光刻机的最首要的中心技术便是光源和光路,其光源和光路的首要组成部分有四个,光源、曝光、检测、和其他高精密机械组成。比照之下,蚀刻机的结构组成就要简略许多,首要是等离子体射频源、反响腔室和真空气路等组成。
ASML的EUV光刻机单台价格高达1.2亿美元,而蚀刻机的价格就要低许多了,每台价格在几十万到几百万美元之间。
蚀刻机的相关作业原理我之前有发文,有感爱好的能够去我主页去找,这儿我也不再过多叙说。
国产蚀刻机就给我国半导体范畴做了一个很好的典范,我国中微半导体研制出世界干流的5nm蚀刻机并获得台积电的认证后,美国商务部就把蚀刻机从对华出口约束清单上移除了。这充分说明了一件工作,只需自己有了中心技术,对手就无法再镇压你。
整体来说,我国在半导体范畴还相对来说仍是比较落后,还有较长的路要走,可是只需咱们坚持走下去,就一定能看见彩虹。